Halle 8a, Stand F29.1
ES Systems has developed a new generation of medium isolated MEMS capacitive pressure sensors suitable for applications with harsh environmental conditions. Each sensor integrates a MEMS capacitive pressure sensor die, and a CMOS ASIC. The capacitive principle of operation has significant advantages over the widely used piezoresistive one. Test have shown that the sensor can withstand up to 100x bar overpressure. The sensors are provided calibrated and compensated at various temperature and pressure ranges from 1 bara to 400 bara.
Der ES Systems MEMS Geschäftsbereich ist auf die Entwicklung von auf Silizium basierenden Modulen spezialisiert. Der Fokus liegt auf Entwicklung, Design und Produktion von flexiblen und kundenspezifischen MEMS-Modulen via standardisierten industriellen Prozessen für anspruchsvolle Anwendungen.


Auf MEMS basierende Produkte von ES Systems sind:
  • Luftmassensysteme
  • kapazitive Drucksysteme
  • kapazitive Beschleunigungsysteme
  • auslesbare ICs


  • Design & Entwicklung der kundenspezifischen Sensing and IC-Lösungen
  • Packaging and Housing Solutions