icroSpy® Mobile – überall schnell einsatzbereit

Mehr Flexibilität durch kompakte Bauweise und sicheren Transport im Rollkoffer

Ob große Maschine, schwer zugänglicher Fahrzeuginnenraum, fest montierte Walze oder sperrige Glasscheibe: Wenn „vor Ort“ gemessen werden muss, ist das nur fünf Kilogramm leichte 3D-Messsystem MicroSpy® Mobile als kompaktes und tragbares Messgerät innerhalb weniger Minuten einsatzbereit.
Neu und speziell für den MicroSpy® Mobile entwickelt ist ein hochwertiger Rollkoffer. Er garantiert den sicheren Transport aller Komponenten des 3D-Messsystems.
FRT the art of metrologie – Hochwertige 3D-Oberflächenmesstechnik und -inspektion für Ihre Anforderungen

FRT ist einer der weltweit führenden Anbieter von 3D-Messtechnik für F&E und high-volume manufacturing. Der FRT MicroProf® ist in den Bereichen Halbleiter-Frontend, Advanced Packaging, MEMS, VCSEL, Automotive, Engineering und Optik etabliert.

Eine ultra-stabile Plattform der dritten Generation und eine komplette hausinterne Software sind das Ergebnis von mehr als 20 Jahren Erfahrung. Das FRT Multisensorkonzept und die Optionen der hybriden Messtechnik unterstützen Produktionslinien auf der ganzen Welt.

Die Anwendungen sind berührungslos und vollautomatisch. Messparameter sind Topographie, Schritthöhe, Rauheit, TTV, Bogen, Kette, Spannung, TSV, Schicht- und Stapeldicke, Overlay und CD - und viele Weitere. Verschiedene Messmethoden können mit Punkt-, Linien- und Sichtfeldsensoren sowie Schichtdickensensoren und Rasterkraftmikroskopen in einem Messgerät und in einem Rezept kombiniert werden.

Produkte

Berührungslose Oberflächenmesstechnik, Defektinspektion, Multisensor Technologie, vollautomatische Messgeräte, Dickenmessung, Topographiemessung, Schichtdickenmessung, Abstandssensoren, Schichtdickensensoren, Spektrometer, Konfokalmikroskope, Weißlichtinterferometer, Rasterkraftmikroskope

Dienstleistungen

Oberflächenanalyse- Auftragsmessungen- Fortbildungen/Seminare