Megasonic FTF-Transducer für Single-Substrat-Prozesse


Quelle: SONOSYS
10.07.2017 Die SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH ist spezialisiert auf die Entwicklung, die Produktion und den Vertrieb von hochfrequenten Ultraschallsystemen im Frequenzbereich von 400 kHz bis 5 MHz (Megasonic). Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung, in Verbindung mit chemischen Reaktionen, ermöglicht das Ablösen von Partikeln bis in den Nanobereich von empfindlichen Oberflächen und feinen Strukturen.
 
Der FTF-Transducer ist ein hermetisch gekapselter Schwinger aus Kunststoff (PFA) zur Montage über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-/Megasonic-Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein. Die Ultrasonic-/Megasonic-Energie wird homogen mit gleichmäßiger Leistungsverteilung über eine aktive Piezo-Transducerfläche von zum Beispiel 150 x 25 mm auf das Substrat übertragen.
 
SONOSYS Transducer-Systeme mit patentierten Butterfly-Piezokeramiken erzielen einen 40 Prozent höheren Schalldruck bzw. einen bis zu 30 Prozent höheren Wirkungsgrad als herkömmliche Systeme. Eingesetzt werden die FTF-Transducer zur Prozessunterstützung, zum Beispiel beim Reinigen, Ätzen, oder Lift Off.
 
Neben den Standardausführungen für die Substratgrößen 100mm, 150mm, 200mm und 300mm, sind kundenspezifische FTF-Transducer hinsichtlich Bauform und Material auf Anfrage möglich. Für Versuche steht ein Testsystem auf Mietbasis zur Verfügung.
 
Kontakt: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH, info@sonosys.de