Jul 10, 2017

Megasonic FTF-Transducer für Single-Substrat-Prozesse


Source: SONOSYS
Jul 10, 2017
Die SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH ist spezialisiert auf die Entwicklung, die Produktion und den Vertrieb von hochfrequenten Ultraschallsystemen im Frequenzbereich von 400 kHz bis 5 MHz (Megasonic). Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung, in Verbindung mit chemischen Reaktionen, ermöglicht das Ablösen von Partikeln bis in den Nanobereich von empfindlichen Oberflächen und feinen Strukturen.
 
Der FTF-Transducer ist ein hermetisch gekapselter Schwinger aus Kunststoff (PFA) zur Montage über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-/Megasonic-Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein. Die Ultrasonic-/Megasonic-Energie wird homogen mit gleichmäßiger Leistungsverteilung über eine aktive Piezo-Transducerfläche von zum Beispiel 150 x 25 mm auf das Substrat übertragen.
 
SONOSYS Transducer-Systeme mit patentierten Butterfly-Piezokeramiken erzielen einen 40 Prozent höheren Schalldruck bzw. einen bis zu 30 Prozent höheren Wirkungsgrad als herkömmliche Systeme. Eingesetzt werden die FTF-Transducer zur Prozessunterstützung, zum Beispiel beim Reinigen, Ätzen, oder Lift Off.
 
Neben den Standardausführungen für die Substratgrößen 100mm, 150mm, 200mm und 300mm, sind kundenspezifische FTF-Transducer hinsichtlich Bauform und Material auf Anfrage möglich. Für Versuche steht ein Testsystem auf Mietbasis zur Verfügung.
 
Kontakt: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH, info@sonosys.de

Links

Member profile

Recommended articles

Mar 12, 2024

The demand for electronics that operate at low temperatures is growing and becoming ever more important, especially for applications in …

Mar 11, 2024

LZH scientists have developed an automated process for laser drilling that facilitates the machining of carbon fiber-reinforced plastics (CFRP). This …

Mar 7, 2024

As a leading conference for the microtechnology industry, the IVAM Hightech Summit offers a unique platform for experts and deciders …

Recommended events

Mar 5 - 7, 2025
Discover the Future of Photonics with IVAM
Feb 4 - 6, 2025
Medical Design & Manufacturing - IVAM presents Micro Nanotech Area in Hall C
Nov 11 - 14, 2024
Product Market “High-tech for Medical Devices” and "COMPAMED HIGH-TECH FORUM" in Hall 8a, F29 (IVAM Lounge)